Özet

Çinko oksit (ZnO) filmleri püskürtme yöntemi kullanılarak farklı taban sıcaklıklarında üretilmiştir. Üretilen bu filmlerin yapısal ve elektriksel özelliklerine taban sıcaklığının etkisi incelenmiştir. Filmlerin xışınları kırınım desenlerinden polikristal ve hekzagonal yapıda oldukları görülmüştür. Buradan tanecik boyutu ve yapılanma katsayısı (TC) hesaplanmıştır. ZnO filmlerinin iletkenlikleri karanlıkta ve oda sıcaklığında alınan akım-voltaj ölçümlerinden belirlenmiştir. Bütün filmlerin ohmik iletim mekanizmasına sahip olduğu gözlenmiştir.